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晶圆探针卡测试方法
晶圆探针卡是一种半导体在制造晶圆阶段不可或缺的重要测试分析接口,通过连接测试机和芯片,通过传输信号,对芯片参数进行测试。

晶圆探针卡广泛应用于内存IC(DRAM、SRAM及Flash等)、逻辑IC产品、消费性IC产品、驱动IC、通讯IC产品、电源管理IC、电子仪器及医疗设备用IC等科技产品的晶圆测试,属半导体产业中相当细微的一环。
当IC设计完成后,会下单给晶圆代工厂制作,晶圆制作完成后而尚未切割封装之际,为确保晶圆良率及避免封装的浪费,半导体制程中须执行晶圆电性测试及分析制程。晶圆探针卡与测试机构成测试回路,于IC进入封装前,以探针针测晶粒,筛选出电性功能不良的芯片,避免不良品造成后段制造成本的浪费。在芯片制造过程中,封装成本逐渐提高的趋势下,晶圆针测已经成为IC产业中重要且关键的一环。